臺式真空等離子清洗機是利用等離子態氣體對材料表面進行清洗。等離子是一種帶電的氣體粒子,可以通過加熱、輻射等方式產生。當氣體被加熱或受到強電場影響時,原子或分子會失去或獲得電子,形成正離子和負離子。這些帶電的氣體粒子可以與物體表面上的雜質和污染物發生碰撞,將其擊落或轉移至其他位置,從而實現清洗的效果。

臺式真空等離子清洗機主要由以下幾部分組成:
真空腔體:用于創建高真空環境的密封腔體。
氣體供應系統:提供等離子需要的氣體,如氮氣、氧氣等。
加熱系統:通過加熱腔體內的物體或通過加熱電極產生等離子。
控制系統:控制整個清洗過程的參數,如真空度、氣體流量和加熱溫度等。
臺式真空等離子清洗機的清洗過程通常包括以下幾個步驟:
1.將待清洗的物體放置在真空腔體中,并進行必要的預處理,如除塵、除油等。
2.啟動真空泵,將腔體內的氣體抽出,創建高真空環境。
3.根據清洗需求選擇合適的氣體,并通過氣體供應系統將其注入腔體。同時,加熱系統也開始工作,提供能量以激活氣體。
4.在高真空環境中,氣體被加熱并形成等離子。等離子與物體表面的雜質發生碰撞,將其擊落或轉移至其他位置,實現清洗效果。
5.清洗完成后,關閉氣體供應和加熱系統,停止真空抽氣。將清洗后的物體取出即可。
臺式真空等離子清洗機在多個領域有廣泛的應用,例如:
電子工業:清洗半導體芯片、集成電路和顯示屏等。
光學工業:清洗光學元件、光學鏡頭和光學薄膜等。
化學工業:清洗實驗器皿、反應器和管道等。